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双腔甩干机

上市日期: 2016-06-22

 甩干机 (1).png

双腔甩干机

1. 应用范围:

l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.

l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.

l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).

l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.

l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.

 

 

2。 操作流程

操作流程.png

3. 图示

图示.png

 

4. 規格

l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件

l 直流式馬達: DC無刷馬達750W

l 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染

l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm

l 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)

l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)

l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)

l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣

l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨

l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做

l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正

l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂

故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告

 

5. 電控系統

l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。

l 軟體功能

Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。

Ø 儲存能力

記憶模組:參數記憶,配方設定。

 

6。 廠務需求

l 電力需求: AC220V單向 40A (2組電源)

l  DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.

l  N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.

l  CDA :1/4” Tube, 30~50psi.

l Drain : 1-1/2” PVC Tube.

l 尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)


更多的立式腔甩干机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.wvsleeps.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。

 

 

 

双腔甩干机

1. 应用范围:

l 本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.

l 设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.

l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).

l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.

l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.

 

 

2. 操作流程

操作流程.png

3. 图示

图示.png

 

4. 規格

l 機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件

l 直流式馬達: DC無刷馬達750W

l 真空負壓軸封設計,隔離槽外污染

l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm

l 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)

l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)

l 槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)

l  Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣

l 不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨

l 單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做

l 轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正

l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂

故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告

 

5. 電控系統

l  控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。

l 軟體功能

Ø 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。

Ø 儲存能力

記憶模組:參數記憶,配方設定。

 

6. 廠務需求

l 電力需求: AC220V單向 40A (2組電源)

l  DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.

l  N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.

l  CDA :1/4” Tube, 30~50psi.

l Drain : 1-1/2” PVC Tube.

l 尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)

 重量:205Kgs

 

 

 

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